可編程結(jié)構(gòu)光柵(PSLM)：實(shí)現(xiàn)了對(duì)結(jié)構(gòu)光柵運(yùn)動(dòng)的軟件控制，避免了傳統(tǒng)的壓電
陶瓷馬達(dá)(PZT)驅(qū)動(dòng)玻璃摩爾紋光柵所必須的機(jī)械裝置，減少了機(jī)械磨損和客戶(hù)維修
成本。
        運(yùn)用先進(jìn)的相位輪廓調(diào)制測(cè)量技術(shù)(PMP)，8比特的灰階分辨率，達(dá)到0.37微米的
檢測(cè)分辨率，相比激光測(cè)量精度提高了2個(gè)數(shù)量級(jí)，大大提高了設(shè)備的檢測(cè)能力和適
用范圍。